|
¢ºSK¸ÓƼ¸®¾óÁî º»»ç Àü°æ |
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî(´ëÇ¥ÀÌ»ç ÀÌ¿ë¿í)°¡ ±ÝÈ£¼®À¯ÈÇÐÀÇ ÀüÀÚ¼ÒÀç»ç¾÷À» ÀμöÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀ¸·Î ¾²ÀÌ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(Photoresist, PR) ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡ º»°Ý ÁøÃâÇÑ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â 7ÀÏ ÀÌ»çȸ¸¦ ¿¾î ±ÝÈ£¼®À¯ÈÇÐ ÀüÀÚ¼ÒÀç»ç¾÷À» ÀμöÇÏ´Â ¿µ¾÷¾ç¼öµµ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù. Àμö ±Ý¾×Àº 400¾ï ¿øÀÌ´Ù. SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â À̹ø ´Þ ¾È¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç »ç¾÷À» ´ã´çÇÏ´Â ÀÚȸ»ç¸¦ ¼³¸³ÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ºûÀÇ ³ëÃâ¿¡ ¹ÝÀÀÇØ ÈÇÐÀû ¼ºÁúÀÌ ¹Ù²î´Â °¨±¤¾×À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ Á¤¹ÐÇÑ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â '³ë±¤ °øÁ¤'¿¡¼ ¾²ÀÌ´Â ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °íÁýÀûÈ¿¡ µû¶ó ±Ø¹Ì¼¼ÇÑ ÆÐÅÏ ±¸ÇöÀÌ ¿ä±¸µÇ°í 3D ³½µåÀÇ ÀûÃþ °æÀïÀÌ ½ÉÈµÇ¸é¼ ¼ö¿ä°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÇöÀç ¾à 3Á¶ 5,000¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ ±Û·Î¹ú Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå ¼ºÀ强ÀÌ ´õ¿í ÁÖ¸ñ ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡¼ 30³â ÀÌ»óÀÇ ¾÷·ÂÀ» ½×¾Æ¿Â ±ÝÈ£¼®À¯ÈÇÐÀº 2005³â ºÒȾƸ£°ï(ArF) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ¾ç»êÇßÀ¸¸ç, 3D ³½µå °øÁ¤¿ë ºÒÈÅ©¸³Åæ(KrF) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ¹Ý»ç¹æÁö¸·(Bottom Anti-Reflection Coating, BARC) µî ´Ù¾çÇÑ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç¿Í ºÎÀç·áÀÇ °³¹ß °ø±Þ ÀÌ·ÂÀ» °®°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í ÇÔ²² ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °ü·Ã ÀÚü ƯÇ㸦 º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡¼ ³ôÀº °æÀï·ÂÀ» °¡Áø °ÍÀ¸·Î Æò°¡ ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â À̹ø Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå ÁøÃâÀ» ÅëÇØ Æ¯¼ö°¡½º Áß½ÉÀÇ ºñÁî´Ï½º Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ´Ù°¢ÈÇÏ°í, °íºÎ°¡°¡Ä¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °³¹ß ¿ª·®À» °ÈÇØ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Á¾ÇÕ ¼ÒÀç ±â¾÷À¸·Î µµ¾àÇϱâ À§ÇÑ ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇÏ°Ô µÆ´Ù.
ÇâÈÄ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ½ÃÀå Á¡À¯À² 90% ÀÌ»óÀ» ±¹¿Ü ±â¾÷ÀÌ Â÷ÁöÇÏ´Â µî ¿Ü»ê ÀÇÁ¸µµ°¡ ¸Å¿ì ³ôÀº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡¼ ±¹³» °³¹ßÀ» ÅëÇÑ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °ø±Þ°ú ±â¼ú Çù·Â ¿ä±¸°¡ Áõ´ëµÇ°í ÀÖ´Â ¸¸Å ½Å±Ô R&D ÀÎÇÁ¶ó¸¦ Ãß°¡ È®º¸ÇØ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» °ÈÇÏ°í, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç Æ®·»µå º¯È¿¡ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î ´ëÀÀÇÒ ¹æħÀÌ´Ù.
¾Æ¿ï·¯ ÇöÀç ±¹»êÈ¿¡ Âø¼öÇÑ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò °¡½º¿Í ÇÔ²² Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ±¹»êÈ¿¡µµ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇØ ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î ¿ì¸®³ª¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ »ê¾÷ °æÀï·Â Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ÀÌ¿ë¿í »çÀåÀº "¼ºÀå ÀáÀç·ÂÀÌ Å« Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç »ç¾÷À» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¹ë·ù¾÷(Value up)ÇÏ¿© °í°´µéÀÇ ¼ÒÀç ±¹»êÈ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°À» Àû±â¿¡ ¾ç»ê °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÒ °ÍÀÌ´Ù"¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ ½Å±Ô ¼ÒÀç ¿¬±¸ °³¹ß¿¡ ´ëÇÑ Àû±ØÀûÀÎ ÅõÀÚ¿Í ±¹³»¿Ü ±â¾÷°úÀÇ È°¹ßÇÑ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ÁøÁ¤ÇÑ ¼ÒÀç Ç÷§Æû ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇØ ³ª°¡°Ú´Ù"°í Çß´Ù.
2020-02-08 12:53:35 /
UGN°æºÏ´º½º(yaho@ugn.kr) |
|
- Copyright ¨Ï UGN °æºÏ´º½º. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö -
|