SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¢ß(´ëÇ¥ÀÌ»ç ÀӹαÔ)°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç »ç¾÷ ´Ù°¢È ³ë·ÂÀÇ °á½ÇÀ» º¸±â ½ÃÀÛÇß´Ù. Áö³ÇØ ÀϺ»ÀÇ Æ®¸®ÄɹÌÄ®(Tri Chemical Laboratories Inc.)°ú ÇÕÀÛ ÅõÀÚÇØ ¼³¸³ÇÑ SKÆ®¸®ÄÍ¢ß(´ëÇ¥ÀÌ»ç ÀӹαÔ)ÀÌ 3D ³½µå ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÁÖ¿ä ¼ÒÀç Áß ÇϳªÀÎ Àü±¸Ã¼(Precursor) °øÀåÀ» ÁØ°øÇØ ÆǸſ¡ µé¾î°£´Ù.
Àü±¸Ã¼(precursor)´Â ƯÁ¤ °øÁ¤À» °ÅÃÄ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â ¹°ÁúÀ» Çü¼ºÇϵµ·Ï °í¾ÈµÈ ¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀç·Î SKÆ®¸®Ä·¿¡¼´Â ¼ö¹é Á¾ÀÇ Àü±¸Ã¼ ñé DRAM ÀüÇÏ ÀúÀå ¹× ¹Ì¼¼È¸·Î ±¸ÇöÀ» À§ÇÑ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù.
SKÆ®¸®ÄÍÀº ¼¼Á¾½Ã ¸íÇлê´Ü ºÎÁö¿¡ Áö¸£ÄÚ´½(Zr)°è¿Í ½Ç¸®ÄÜ(Si)°è Àü±¸Ã¼ »ý»ê ¼³ºñ¸¦ ¿Ï°øÇÏ°í 1ÀÏ °øÀå ÁØ°ø½ÄÀ» °³ÃÖÇß´Ù. À̳¯ ÁØ°ø½Ä¿¡´Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁî ¹× SKÆ®¸®ÄÍÀÇ ÀÓ¹Î±Ô ´ëÇ¥ÀÌ»ç¿Í ÀϺ» Æ®¸®ÄɹÌÄ®ÀÇ Kiyoshi Tazuke ´ëÇ¥ÀÌ»ç, SK¢ß PM3½ÇÀå µîÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
ÀÓ¹Î±Ô ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "SK±×·ìÀÇ ÇÙ½É ¼ºÀå µ¿·Â Áß ÇϳªÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç »ç¾÷ÀÇ Æ÷Æ®Æú¸®¿À ´Ùº¯ÈÀÇ ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇÏ°í »ç¾÷ ´Ù°¢È¸¦ À§ÇÑ ³ë·ÂÀÇ °á½ÇÀÌ º»°ÝÈ µÆ´Ù"°í Çß´Ù.
Áö³ÇØ 6¿ù ¹ÝµµÃ¼ Ư¼ö°¡½º ¾÷üÀÎ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¿Í Àü±¸Ã¼ ºÐ¾ß¿¡ ÃÖ°íÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» º¸À¯ÇÑ ÀϺ»ÀÇ Æ®¸®ÄɹÌÄ®ÀÌ °¢°¢ 60%, 40%ÀÇ ÁöºÐÀ²·Î ÅõÀÚÇÑ SKÆ®¸®ÄÍÀº ÃÖ±Ù D·¥ ¹× ³½µåÇ÷¡½Ã ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±â¼ú º¯È¿¡ µû¶ó °í¼ºÀå, °í¼öÀÍÀÌ ¿¹»óµÇ´Â Àü±¸Ã¼¸¦ Á¦Á¶ ÆǸÅÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù.
Áö³ 9°³¿ù °£ ÃÑ ¾à 250¾ï ¿øÀ» ÅõÀÚÇØ Àü±¸Ã¼ Á¦Á¶ °øÀåÀ» °Ç¼³ÇßÀ¸¸ç, Áö³ 3¿ù ½Ã¿îÀüÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î °í°´»ç Å×½ºÆ® µîÀ» °ÅÃÄ 8¿ù ù ¸ÅÃâÀ» ´Þ¼ºÇÏ°Ô µÈ´Ù.
SKÆ®¸®ÄÍÀº º»°ÝÀûÀÎ ÆǸŸ¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î ÇâÈÄ Àû±ØÀûÀÎ ¸¶ÄÉÆà Àü·«À» ÅëÇØ Á¡À¯À²À» È®´ë½ÃÄѳª°¥ ¿¹Á¤À̸ç, Áö¼ÓÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î Ãß°¡Àû ¾ÆÀÌÅÛ ¹ß±¼°ú »ç¾÷ȸ¦ ÃßÁøÇÏ¿© ÇâÈÄ 2020³â 1õ¾ï ¿øÀÇ ¸ÅÃâ ´Þ¼ºÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
2017-08-01 23:34:55 /
UGN°æºÏ´º½º(yaho@ugn.kr) |
|
- Copyright ¨Ï UGN °æºÏ´º½º. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö -
|