µ¿¾ç´ëÇб³(ÃÑÀå ÃÖ¼ºÇØ)¿Í OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî(´ëÇ¥ÀÌ»ç?ºÎȸÀå Á¤¼øõ)°¡ Áö³ 20ÀÏ µ¿¾ç´ë ȸÀǽǿ¡¼ »êÇÐÇù·ÂÇù¾àÀ» ü°áÇß´Ù.
OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â »ý»ê·® ¼¼°è 1À§ÀÎ ¹ÝµµÃ¼, LCD¿ë Ư¼ö°¡½º NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò)¿Í »ý»ê·® ¼¼°è 2À§ÀÇ Å¾籤ÀüÁöÀÇ ±âÃʼÒÀçÀÎ SiH4(¸ð³ë½Ç¶õ) µî WF6(À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ), DCS(µðŬ·Î·Î½Ç¶õ)¸¦ »ý»ê¡¤ÆǸÅÇÏ´Â ¼¼°è ±¼ÁöÀÇ ±Û·Î¹ú ±â¾÷ÀÌ´Ù.
À̹ø Çù¾àÀº »óÈ£±³·ù¸¦ ÅëÇÑ Çù·Â üÁ¦¸¦ ±¸ÃàÇÔÀ¸·Î½á, ´ëÇаú »ê¾÷üÀÇ ¹ßÀüÀû °è±â¸¦ ¸¶·ÃÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ Áö½Ä ¹× ±â¼úÀÇ Á¤º¸±³È¯À» ÅëÇÑ ¾ç ±â°üÀÇ ¹ßÀüÀ» ¸ñÀûÀ¸·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ·Î½á µ¿¾ç´ëÇб³¿Í OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ±³°ú °úÁ¤ ¹× ±³Àç °øµ¿°³¹ß, °ßÇС¤ÇöÀå½Ç½À µîÀÇ ÀÎÀû±³·ù ¹× Ãë¾÷±âȸ Á¦°ø, »ê¾÷ü Á÷¿øÀÇ ÆíÀÔ, ´ëÇпø ÀÔÇÐ ½Ã Çкñ°¨¸é ¹× ÀåÇÐ±Ý Áö¿ø, °¢Á¾ ¹®ÈÇà»ç »óÈ£ÃÊû ¹× ±³·ù, »êÇп¬ °øµ¿¿¬±¸ ¹× ÇÁ·Î±×·¥ °³¹ß, ±âŸ ¾ç ±â°üÀÇ ¹ßÀüÀ» À§ÇØ ÇÊ¿äÇÑ »çÇ׿¡ ´ëÇÑ »óÈ£Çù·Â µîÀ» ÁÖ¿ä ³»¿ëÀ¸·Î À¯±âÀû Çù·Â°ü°è¸¦ µµ¸ðÇÏ°Ô µÆ´Ù.
<°ü·Ã»çÁø>
2012-03-21 21:11:44 /
±è¿ëÈ£ ±âÀÚ(yaho@ugn.kr) |
|
- Copyright ¨Ï UGN °æºÏ´º½º. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö -
|