특수가스 전문기업인 OCI머티리얼즈㈜(대표이사 조백인)는 독자적으로 개발한 다이실란(Si2H6) 제조 공정 기술에 대해 지식경제부 기술표준원으로부터 신기술(NET)인증서를 받게 됐다고 18일 밝혔다.

OCI머티리얼즈가 개발한 고순도 다이실란(Si2H6)제조 공정 기술은 모노실란(SiH4)의 열분해 반응을 이용·제조하는 기술로서, 본 기술을 통해 제조되는 고순도 다이실란(Si2H6)은 반도체 공정의 증착용 가스로 사용되며 미세화 공정에서 우수한 박막형성 효과를 얻을 수 있다.

OCI머티리얼즈 영주공장은 2012년 6월 다이실란(Si2H6)제조 생산설비를 착공해 11월에 완공했으며, 연산 10톤 규모의 생산능력을 갖추고 있다.

OCI머티리얼즈는 반도체, LCD, 태양광 전지 핵심인 삼불화질소(NF3)를 비롯한 모노실란(SiH4), 육불화텅스텐(WF6) 등을 제조 생산하는 특수가스 전문기업으로, 지난 11월 20일 중국 강소성 진강시에 1,000톤 규모의 삼불화질소(NF3) 생산 설비공장을 완공함에 따라 삼불화질소(NF3)는 연산 7,500톤의 세계 1위 생산설비를 갖추었다.

관계자는 "고순도 다이실란(Si2H6)은 전량 수입되고 있으며, 전 세계적으로 공급이 부족해 높은 가격을 유지하고 있어, 향후 공급부족 및 수입대체 등의 해결을 통한 국내 반도체 산업의 발전에 기여할 것으로 기대된다"며 "이번 신기술 인증으로 삼불화질소(NF3)에 이은 또 한 번의 국산화를 이루며 당사의 기술력을 다시 한 번 입증 받는 계기가 됐다"고 했다.

2012-12-20 10:10:40 / 김용호 기자(yaho@ugn.kr)

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